Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28094
Заглавие документа: | РАЗВИТИЕ РАБОТ В ОБЛАСТИ РАДИАЦИОННОЙ ТЕХНОЛОГИИ СИЛОВЫХ И БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ |
Авторы: | Марченко, И. Г. Жданович, Н. Е. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2011 |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
Аннотация: | Излагается обзор результатов работ авторов, посвященных развитию физических основ новых методов ис- пользования проникающих излучений в производстве силовых и быстродействующих биполярных полупроводни- ковых приборов (СПП) на основе многослойных Si- структур. Обсуждаются новые приемы радиационно- технологических обработок, с использованием циклического, высокотемпературного и локального электронного (4 и 6 МэВ) облучения, для создания СПП с характеристиками, более пригодными для практического применения. Дальнейшее их улучшение видится в отыскании наиболее удачных решений при выборе режимов радиационной обработки для конкретных типов приборных структур. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28094 |
Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Марченко-Жданович.pdf | 310,26 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.