ФОРМИРОВАНИЕ НАНОАЛМАЗОВ В КРЕМНИИ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ МОЩНЫХ ИМПУЛЬСНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ

Abstract

В работе представлены результаты исследования структурного состояния углерода, имплантированного в кремний при высокоинтенсивной многоимпульсной ионной имплантации. Показано, что в данном случае происходит формиро- вание частиц наноалмазов, средним размером около 10 нм, о чем свидетельствуют особенности КР спектров. Установ- лено, что при увеличении числа импульсов воздействия имеет место аморфизация поверхностного слоя с образовани- ем алмазоподобного углерода вследствие накопления атомов водорода в имплантированном слое.