Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28061| Title: | ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРНЫЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛОВ InAs В ИОННОИМПЛАНТИРОВАННОМ КРЕМНИИ |
| Authors: | Власукова, Л. А. Мильчанин, О. В. Гребень, М. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | С помощью высокодозной ионной имплантации ионов As и In и высокотемпературного отжига синтезированы нано- размерные кристаллиты InAs в матрицах кристаллического кремния. Для анализа распределения примесей по глубине и оценки структурных и оптических характеристик имплантированных слоев кремния использовались методы РОР, ПЭМ и низкотемпературной ФЛ. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28061 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Власукова-Гребень.pdf | 418,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.