Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28061| Заглавие документа: | ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРНЫЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛОВ InAs В ИОННОИМПЛАНТИРОВАННОМ КРЕМНИИ |
| Авторы: | Власукова, Л. А. Мильчанин, О. В. Гребень, М. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | С помощью высокодозной ионной имплантации ионов As и In и высокотемпературного отжига синтезированы нано- размерные кристаллиты InAs в матрицах кристаллического кремния. Для анализа распределения примесей по глубине и оценки структурных и оптических характеристик имплантированных слоев кремния использовались методы РОР, ПЭМ и низкотемпературной ФЛ. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28061 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Власукова-Гребень.pdf | 418,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.