Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/278559
Заглавие документа: | Исследование плазмонных эффектов в периодических структурах с островковыми слоями высоколегированного кремния : отчет о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук |
Авторы: | Гайдук, П. И. Мухаммад, А. И. Кошелев, И. Р. Наливайко, В. О. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Автоматика. Вычислительная техника ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2021 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектами исследования являлись многослойные структуры Si/SiO2/Si3N4/Si, поверхностный островковый слой которых сформирован селективным лазерным отжигом. Цели работы – исследование процессов формирования многослойных структур на основе микроразмерных высоколегированных островков кремния и анализ в полученных структурах плазмонных эффектов в среднем ИК диапазоне. Основные технологические методы и методы исследований: компьютерное моделирование, лазерный отжиг, растровая электронная микроскопия, оптическая спектрометрия и др. В результате проведенной работы теоретически смоделированы свойства многослойных структур Si/SiO2/Si3N4/Si; методом селективного лазерного отжига сформированы структуры с островковым поверхностным слоем; исследованы структурные и оптические характеристики таких структур. Результаты НИР могут быть использованы при разработке неохлаждаемых болометрических матриц. Использование структурированного поверхностного слоя в таких приборах позволит повысить их эффективность за счет плазмонных эффектов. Результаты проекта могут быть использованы при подготовке НИР по разработке технологического процесса формирования островкового слоя с разным размером и уровнем легирования островков методом селективного лазерного отжига. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/278559 |
Регистрационный номер: | Рег. № НИОКТР 20211829 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/closedAccess |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2021 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20211829 Гайдук.docx | 1,69 MB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.