Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/278448
Title: Структура и электрофизические свойства кремния после имплантации сурьмы и импульсного отжига под слоем анодного окисла
Authors: Гайдук, П. И.
Комаров, Ф. Ф.
Соловьев, В. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 1986
Publisher: Минск : Университетское
Citation: Вестник Белорусского государственного университета имени В. И. Ленина. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1986. – № 2. – С. 13-16.
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/278448
ISSN: 0321-0367
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:1986, №2 (май)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
13-16.pdf248,37 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.