Оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния

Лобанок, М. В.; Мухаммад, А. И.; Гайдук, П. И.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/271755

Title:	Оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
Other Titles:	Optical properties of rapid vaccum-thermal carbidization SiC/Si Heterostructure / M.V. Lobanok, A.I. Mukhammad, P.I. Gaiduk
Authors:	Лобанок, М. В. Мухаммад, А. И. Гайдук, П. И.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2021
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XIII Междунар. науч.-техн. конференции, Минск, 22–26 ноября 2021 г. / БГУ, НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ, Ин-т физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований ; [редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 232-235.
Abstract:	Представлены результаты измерений спектров инфракрасной (ИК) спектроскопии и спектров комбинационного рассеяния (КР) гетероструктур SiC/Si. Наблюдаемая в спектрах структур SiC/Si полоса 798 см-1 соответствует поперечной оптической (ТО) фононной моде в решетке кубического карбида кремния. Обнаружена полоса ИК поглощения Si-O-Si 1100 см-1. Определен коэффициент пропускания
Abstract (in another language):	Raman scattering and FT-IR spectroscopy measurements showed a SiC/Si heterostructure. The 798 cm-1 band corresponds to the transverse optical (TO) phonon mode in the lattice of cubic silicon carbide. The Si-O-Si peak (1100 cm-1) was found in the IR absorption spectrum
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/271755
Sponsorship:	Исследования выполнены в рамках проекта государственной программы научных исследований «Фотоника и электроника для инноваций» (проект 3.1.2, № ГР 20212702)
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Number, date deposit:	№ 010503112021, Деп. в БГУ 03.11.2021
Appears in Collections:	2021. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
232-235.pdf		980,29 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar