Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/271673
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПолонский, Н. В.
dc.contributor.authorКозодоев, С. В.
dc.contributor.authorЛобанок, М. В.
dc.contributor.authorГайдук, П. И.
dc.date.accessioned2021-11-12T07:30:42Z-
dc.date.available2021-11-12T07:30:42Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.citationКвантовая электроника : материалы XIII Междунар. науч.-техн. конференции, Минск, 22–26 ноября 2021 г. / БГУ, НИИ прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ, Ин-т физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси, Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований ; [редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 398-401.
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/271673-
dc.description.abstractИсследованы электрофизические характеристики контактов Шоттки на структуре 3C-SiC/Si до и после импульсного лазерного отжига на воздухе при плотности энергии 1.7 Дж/см2 и 2.5 Дж/см2. Приведен сравнительный анализ измерений электрофизических характеристик контактов. Результаты измерений ВАХ демонстрируют низкие значения обратных токов утечек (200 нА при -10 В) после облучения лазерным импульсом с плотностью энергии 1.7 Дж/см2
dc.description.sponsorshipИсследования выполнены в рамках проекта ГПНИ «Фотоника и электроника для инноваций» (проект 3.1.2, № ГР 20212702)
dc.language.isoru
dc.publisherМинск : БГУ
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
dc.titleВлияние импульсного лазерного отжига на электрофизические характеристики барьерной структуры Ni/3C-SiC/Si
dc.title.alternativeEffect of laser treatment on the electrophysical characteristics of the Ni/3C-SiC/Si barrier structure / M. V. Palonski, S. V. Kozodaev, M. V. Lobanov, P. I. Gaiduk
dc.typeconference paper
dc.identifier.deposit№ 010503112021, Деп. в БГУ 03.11.2021
dc.description.alternativeThe electrophysical characteristics of Schottky contacts of the Ni/3C-SIC/SI structure before and after laser annealing in air with an Nd:YAG laser at energy densities of 1.7 J/cm2 and 2.5 J/cm2 are investigated. The results of measurements of the electrophysical characteristics of contacts are presented. The I-V characteristics demonstrated low values of reverse leakage currents (200 aT -10 V) after laser annealing at 1.7 J/cm2
Располагается в коллекциях:2021. Квантовая электроника

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
398-401.pdf1,01 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.