Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271053| Заглавие документа: | Лазерное распыление материалов и формирование функциональных покрытий на диэлектриках |
| Другое заглавие: | Laser spraying of materials and formation of functional coatings on dielectrics / A.A. Simonov, A.I. Kamardin, B.D. Igamov, I.Kh. Turapov |
| Авторы: | Симонов, А. А. Камардин, А. И. Игамов, Б. Д. Турапов, И. Х. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 589-592. |
| Аннотация: | Создана установка для проведения процессов вакуумного лазерного распыления таких материалов как Ti, Mo, Ta, Zr, Si, SinMnk и других сплавов из вращающихся дисков в вакууме порядка 10 -3 Па на базе вакуумного поста ВУП-5. Исследованы покрытия таких материалов толщиной от 30-50 нм до 1 мкм на стекле К-8, ситалле СТ-50-1, монокристаллическом кремнии с оксидным слоем и слюде. Для формирования топологических рисунков на покрытиях также использована лазерная обработка и электрохимическое воздействие. Показана возможность создания цветных защитно-декоративных покрытий с рисунком и термочуствительных покрытий на основе силицида марганца |
| Аннотация (на другом языке): | A device has been created for the implementation of vacuum laser sputtering of materials such as Ti, Mo, Ta, Zr, Si, SinMnk and other alloys. Targets in the form of rotating discs are processed in a vacuum of the order of 10 -3 Pa by a pulsed laser with a power of 200 mJ at a pulse frequency of up to 15 Hz. The coatings of these materials with a thickness from 30-50 nm to 1 μm on pre-chemically cleaned K-8 glass, ST-50-1 glass, monocrystalline silicon with an oxide layer and mica have been studied. To form topological patterns on coatings with an accuracy of 20-30 microns, laser processing and electrochemical exposure (anodic oxidation with a voltage of up to 200 V) were also used. The possibility of creating colored protective and decorative coatings with a pattern based on two-layer coatings of the Zr-ZrO2 type and heat-sensitive coatings based on manganese silicide is shown |
| Доп. сведения: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in equipment and technologies |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271053 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Располагается в коллекциях: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 589-592.pdf | 494,83 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.