Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271051| Title: | Методика послойного химического анализа мультислойных покрытий Zr/Nb методами оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда |
| Other Titles: | Methodology of layer-by-layer chemical analysis of Zr/Nb multilayer coatings by glow discharge optical emission spectroscopy / Anton Lomygin, Roman Laptev |
| Authors: | Ломыгин, А. Лаптев, Р. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 584-587. |
| Abstract: | Мультислойные покрытия представляют огромный интерес в применении в различных областях техники, начиная от оптических покрытий, заканчивая защитными. Также, как и любые покрытия, мультислойные системы требуют контроля деградации материала при его использовании, и контроля качества формирования покрытий. Одним из методов, позволяющих разрешать ультратонкие слои и при этом иметь высокое глубинное разрешение, является оптическая эмиссионная спектрометрия тлеющего разряда (ОЭСТР). При работе с ОЭСТР существуют особенности, влияющие на результаты исследований. В данной работе показана разработка методики распыления мультислойных покрытий с целью учета неравномерности распыления, обусловленная наличием инструментальных и физических артефактов |
| Abstract (in another language): | Thin films and coatings are used in various fields of engineering, from microelectronics and optics to protective coatings against various influences. A number of interesting properties of multilayer systems are caused by the presence of an unusual structure, multiple interfaces, etc. Optimization of coating deposition processes and determination of coating failure mechanisms are based on investigations of the microstructure and elemental and chemical composition using electron microscopy, X-ray structure analysis and photoelectron spectroscopy. However, in this case, in addition to the technological problems associated with the deposition of a large number of layers, methodological problems also arise in depth profiling as a result of the physical and instrumental artifacts that accompany the ion sputtering of ultra-thin and thin multilayer coatings. Thin-film analysis by depth profiling methods is based on the erosion of surfaces as a result of bombardment by particles with different energies, with the substance being continuously removed as a function of bombardment time. One such method is glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES). Considering the high sputtering rates in GD-OES, the main advantage is the possibility to use a radiofrequency source in pulsed mode, thereby reducing the sputtering rate. The application of pulsed discharges allows reproducible measurements with improved detection limits and lower self-absorption, allowing the detection of less material present in thin layers. This study will use the GD-Profiler 2 glow discharge spectrometer. This paper demonstrates the development of a methodology for sputtering multilayer coatings in order to account for sputtering unevenness caused by the presence of instrumental and physical artifacts |
| Description: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in equipment and technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271051 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Sponsorship: | Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда (проект № 20-79-10343) |
| Appears in Collections: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 584-587.pdf | 395,21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.