Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271049| Title: | Принцип однородного ионного легирования образцов материалов для структурных исследований |
| Other Titles: | The principle of uniform ion doping of material samples for structure researches / D.A. Komarova, A.S. Sohatsky, A.I. Krylov, N.V. Kurylev, S.A. Mitrofanov |
| Authors: | Комарова, Д. А. Сохацкий, А. С. Крылов, А. И. Курылев, Н. В. Митрофанов, С. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 574-578. |
| Abstract: | Разработан принцип однородного ионного легирования образцов материалов для структурных исследований с помощью просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). В основе метода лежит идея равномерного сканирования зоной остановки ионов по глубине в веществе мишени. Для этого были рассмотрены возможные способы получения однородного распределения концентрации легированной ионной примеси в образцах материалов. Была разработана и изготовлена конструкция мишенного узла, в которой предполагается облучать поворотную мишень, приводящуюся в движение с помощью шагового двигателя, скорость вращения которой может изменяться по заданной функциональной зависимости от угла поворота. На основе теоретических расчетов написано программное обеспечение управления механизмом движения мишени и системой измерения ионного пучка. Основной результат работы программы – построение распределения концентрации имплантированной примеси по глубине в режиме реального времени с учетом измерений ионного тока пучка |
| Abstract (in another language): | The principle of uniform ion doping of materials samples for structure researches by transmission electron microscopy (TEM) was developed. At the heart of the method, there is an idea of uniform scanning of ions zone stopping across the depth in a target material. For it, the possible ways of getting of uniform concentration distribution of implanted ion impurity were considered in materials samples. A target node construction was developed and created, in which it supposes to irradiate a rotating target, which is moved by a stepper motor. The target rotation velocity can change according with given function dependence versus a rotation angle. Based on theoretical calculations we developed the software for target motion control and ion beam measuring system. The main result of the program work is building of ion doping profile in real time considering measurements of ion beam current |
| Description: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in equipment and technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271049 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Appears in Collections: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 574-578.pdf | 518,37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.