Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271042
Заглавие документа: | Элементный анализ поверхности структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением на сталь 40Х покрытий на основе Ti, Cr, W |
Другое заглавие: | Elemental analysis of surface structures, obtained by ion-assisted deposition on steel 40X coatings based on Ti, Cr, W / Valentin Tul'ev |
Авторы: | Тульев, В. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2021 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 547-551. |
Аннотация: | На подложки из стали марки 40Х наносились покрытия на основе Ti, Cr, W методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Для реализации этого метода использовался ионный источник, создающий плазму вакуумного электродугового разряда, в которой одновременно генерируются положительные ионы и нейтральная фракция из материала электродов. Ионно-ассистируемое осаждение осуществлялось при ускоряющих напряжениях 15 кВ, плотности ионного тока ~3-5 мкА/см2 и интегральном потоке ассистирующих ионов (1-6)·10 16 ион/см 2 . В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10 −2 Па. Для дополнительного контроля элементного состава осаждаемого на мишень покрытия использовались образцы-свидетели из бериллия. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия. Установлено независимыми и взаимодополняющими методами, что в состав покрытий входят атомы осаждаемого металла (10-30 ат. %), атомы железа из подложки (20-30 ат. %), атомы технологических примесей водорода (5-10 ат.%), углерода (5-10 ат.%), кислорода (10-30 ат.%) |
Аннотация (на другом языке): | Thin films were applied on steel 40X substrates on the basis of titanium, and titanium with silicon using the method of the ion-assisted deposition in vacuum. Ion-assisted deposits were prepared using 15 kV ions irradiation during the deposition on beryllium neutral fraction generated from vacuum arc plasma. The density of ionic current at the deposition of the covering has changed in the range of 3 to 5 µA/cm2, and the ion flow has changed in the range of 1·10 16 to 6·0 16 ions/cm-2. The deposition of the covering has occurred at the vacuum in the working chamber ~10 –2 Pa. For additional control of the elemental composition of the coating deposited on the target, beryllium witness samples were used. Rutherford back scattering and computer simulation RUMP code, and resonant nuclear reactions, and method of resonant elastic scattering of helium ions were applied to investigate the elemental composition and distribution of elements along the depth of the formed covering. With the help of independent and complementary methods it was found that the covering composition includes atoms of the deposited material (10-30 at. %), atoms of Fe from the substrate (20-30 at. %), atoms of technological impurity hydrogen (5-10 at. %), carbon (5-10 at. %) and oxygen (10-30 at. %). It has been determined that the penetration of metal atoms into the interior of the sample occurs as a result of radiation-stimulated diffusion, of iron atoms due to interdiffusion. The formation of the coating is affected by the sputtering of the surface of the formed structure |
Доп. сведения: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation influence on coatings structure and properties |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271042 |
ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
Располагается в коллекциях: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
547-551.pdf | 370,1 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.