Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/271040| Title: | Синтез и структура пленок на основе оксидов олова, легированных никелем |
| Other Titles: | Synthesis and structure of nickel doped tin oxides based films / V.K. Ksenevich, D.V. Adamchuk, V.A. Dorosinets |
| Authors: | Ксеневич, В. К. Адамчук, Д. В. Доросинец, В. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 14-й Междунар. конф., посвящ. 100-летию Белорус. гос. ун-та, Минск, Беларусь, 21-24 сент. 2021 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2021. – С. 539-542. |
| Abstract: | C использованием методов рентгеновской дифракции и комбинационного рассеяния света исследована микроструктура пленок оксидов олова, легированных никелем. Синтез пленок проводился методом магнетронного распыления оловянной мишени со вставками из никеля (1–2 полоски шириной 2 мм) в аргон-кислородной плазме с последующим двухступенчатым отжигом на воздухе. Установлено, что пленки, полученные в плазме аргона (без добавления кислорода) имеют поликристаллическую структуру, в состав которой входят фазы SnO и SnO2, а также нестехиометрические фазы Sn2O3, Sn3O4. Увеличение количества вставок никеля в оловянной мишени до двух приводит к формированию более разупорядоченной структуры пленок оксидов олова. Использование реактивного магнетронного распыления с содержанием кислорода 2 об. % приводит к дальнейшему размытию характерных для оксидов олова линий на рентгеновских дифрактограммах и спектрах комбинационного рассеяния света легированных никелем пленок оксидов олова. Пленки, синтезированные магнетронным распылением в аргон-кислородной плазме с содержанием кислорода 4–6 об. %, после отжига на воздухе имеют рентгеноаморфную структуру |
| Abstract (in another language): | Structural investigations of nickel-doped tin oxide films has been carried out using X-ray diffraction and Raman spectroscopy. The films were synthesized by magnetron sputtering of a tin target with nickel inserts (1–2 strips with width of 2 mm) in argon-oxygen plasma (with oxygen content in range of 0–6 vol. %), followed by 2-stage annealing in air (at the temperature of about 200 °C during 2 hours at the first stage followed by heating and isothermal annealing during 1 hour and at the temperature of 375 °C). It was found that films obtained in argon plasma (without oxygen) have a polycrystalline structure, which includes SnO and SnO2 phases, as well as nonstoichiometric phases Sn2O3, Sn3O4. Using of 2 nickel inserts in a tin target during magnetron sputtering induces the formation of a more disordered structure of tin oxide films. Using of reactive magnetron sputtering of a tin target with 2 nickel strips (with an oxygen content of 2 vol. %) leads to further smearing of tin oxides characteristic lines in X-ray diffraction patterns and Raman spectra of nickel doped tin oxide films. Films synthesized by magnetron sputtering in argon-oxygen plasma with an oxygen content of 4–6 vol. % with the following annealing in air have an amorphous structure |
| Description: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation influence on coatings structure and properties |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/271040 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Appears in Collections: | 2021. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 539-542.pdf | 424,05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.