Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/26355| Заглавие документа: | ИМПУЛЬСНО-ПУЧКОВЫЕ ОБРАБОТКИ В КРЕМНИЕВОЙ ЭЛЕКТРОНИКЕ - ВОЗМОЖНОСТИ И ПЕРСПЕКТИВЫ |
| Авторы: | Баязитов, Р. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Проведен обзор методов и особенностей импульсных обработок, используемых в кремниевой микроэлектронике. Рассмотрены нестационарные температурные поля в полупроводниковых структурах, обусловленные воздействием интенсивных пучков излучений в широком диапазоне длительности воздействия. Проведен анализ отжига дефектов и диффузионного распределения примесей в твердофазном и жидкофазном режимах импульсных обработок импланти- рованных слоев и тонкопленочных покрытий. Показано, что роль импульсных термических обработок в значительной мере повышается при переходе микроэлектроники в нанометровый диапазон размеров элементов. Проведен обзор последних публикаций по развитию технических средств и по применению импульсных обработок для создания крем- ниевых интегральных схем и дискретных приборов. Рассмотрены перспективы использования импульсных обработок для создания новых функциональных материа- лов для микро- и оптоэлектроники. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/26355 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Баязитов.pdf | 355,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.