Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/259300Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kuznetsova, T. A. | - |
| dc.contributor.author | Lapitskaya, V. A. | - |
| dc.contributor.author | Chizhik, S. A. | - |
| dc.contributor.author | Uglov, V. V. | - |
| dc.contributor.author | Shymanski, V. I. | - |
| dc.contributor.author | Kvasov, N. T. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-05-03T11:50:35Z | - |
| dc.date.available | 2021-05-03T11:50:35Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; 2018. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/259300 | - |
| dc.description.abstract | Monolayer AlN coating and multilayer AlN/SiN coatings with single layer thickness of 10 nm and 5 nm were formed using reactive magnetron sputtering. The surface microstructure of these coatings was investigated using atomic force microscopy. Roughness, adhesion forces, and friction coefficient for different layers of coatings were determined. © 2018 Institute of Physics Publishing. All rights reserved. | ru |
| dc.description.sponsorship | This research was supported by the grant of SPSR "Energy Systems, Processes and Technologies"-2.6.NT-MDT Spectrum Instruments,Ostec-ArtTool Ltd.,Promenergolab LLC,Russian Foundation for Basic Research,Taylor and Francis Group | ru |
| dc.language.iso | en | ru |
| dc.publisher | Institute of Physics Publishing | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия | ru |
| dc.title | Morphology of multilayer AlN/SiN coatings with layers of different thickness | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| dc.identifier.DOI | 10.1088/1757-899X/443/1/012018 | - |
| dc.identifier.scopus | 85057497131 | - |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики твердого тела и нанотехнологий (статьи) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kuznetsova_2018_IOP_Conf._Ser.__Mater._Sci._Eng._443_012018.pdf | 821,01 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.