Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/248629| Заглавие документа: | Применение распределений Пирсона для расчета пространственного распределения концентрации примеси введенной методом ионной имплантации |
| Авторы: | Гранько, С. В. Ковалевский, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Кибернетика |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Компьютерные технологии и анализ данных (CTDA’2020) : материалы II Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 23–24 апр. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Скакун (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 53-56. |
| Аннотация: | Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределение примеси |
| Доп. сведения: | Cекция «Компьютерное моделирование процессов и систем» |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/248629 |
| ISBN: | 978-985-566-942-6 |
| Располагается в коллекциях: | 2020. Компьютерные технологии и анализ данных (CTDA’2020) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.