Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/246846| Заглавие документа: | Дефектность слоев борофосфоросиликатного стекла, осажденного при атмосферном давлении |
| Авторы: | Лабуда, А. А. Сидерко, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1995 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1995. – № 1. – С. 30-34. |
| Аннотация: | The conditions of defect formation in the layers of borophosphosilicate glass in the process of planarization have been determined, their classification has been performed and the processing regimes for their minimization have been, determined |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/246846 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1995, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.