Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/237224
Title: Исследовать корреляцию электрофизических и оптических свойств твердых растворов кремний-германий при изменении их компонентного состава и радиационных воздействиях : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ю. М. Покотило
Authors: Покотило, Ю. М.
Смирнова, О. Ю.
Петух, А. Н.
Стельмах, Г. Ф.
Гиро, А. В.
Кондратьева, Ю. А.
Лавицкая, Т. С.
Величко, Ф. М.
Протасеня, А. И.
Никитина, А. В.
Щитковец, А. К.
Ерш, Д. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность
Issue Date: 2018
Publisher: Минск : БГУ
Abstract: Объектом исследования являются оптические и электрофизические свойства и условия формирования структурных дефектов в кристаллах германия, кремния, твердых растворах SiGe, механизмы модификации свойств кристаллов кремния и сплавов при имплантации ионов водорода и обработке в водородной плазме. Цели НИР: получение новые сведений о структурных, электрофизических и оптических свойствах изучаемых объектов, установление радиационно-технологических режимов формирования новых свойств материалов. Основные методы исследований: измерения вольт-фарадных характеристик, нестационарная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), спектроскопия комбинационного рассеяния света и ИК-поглощения, рентгеноструктурный анализ. В процессе использовались приборы: спектрометр DLTS; C-V-профилометр; ИК-спектрометр IR75; Nanofinder High End (LotisTII) – микрорамановский спектрометр; дифрактометр Ultima-IV с использованием медного излучения (0,154059 нм). В результате показана возможность модификации оптических, электрических и структурных свойств кристаллов и пленок германия, кремния в твердых растворах SiGe; установлены радиационно-технологические режимы (условия термообработки и параметры плазменной обработки, энергия ионов водорода) для целенаправленного формирования новых свойств изучаемых объектов. Использование разработанных научно-технологических принципов позволит при помощи ионной имплантации и обработки в водородной плазме создать новые методики управления электрофизическими характеристиками полупроводниковых приборов.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/237224
Registration number: № госрегистрации 20161265
Appears in Collections:Отчеты 2018

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Отчет 20161265 Покотило.docx896,97 kBMicrosoft Word XMLView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.