Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/237224
Заглавие документа: | Исследовать корреляцию электрофизических и оптических свойств твердых растворов кремний-германий при изменении их компонентного состава и радиационных воздействиях : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ю. М. Покотило |
Авторы: | Покотило, Ю. М. Смирнова, О. Ю. Петух, А. Н. Стельмах, Г. Ф. Гиро, А. В. Кондратьева, Ю. А. Лавицкая, Т. С. Величко, Ф. М. Протасеня, А. И. Никитина, А. В. Щитковец, А. К. Ерш, Д. С. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность |
Дата публикации: | 2018 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектом исследования являются оптические и электрофизические свойства и условия формирования структурных дефектов в кристаллах германия, кремния, твердых растворах SiGe, механизмы модификации свойств кристаллов кремния и сплавов при имплантации ионов водорода и обработке в водородной плазме. Цели НИР: получение новые сведений о структурных, электрофизических и оптических свойствах изучаемых объектов, установление радиационно-технологических режимов формирования новых свойств материалов. Основные методы исследований: измерения вольт-фарадных характеристик, нестационарная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), спектроскопия комбинационного рассеяния света и ИК-поглощения, рентгеноструктурный анализ. В процессе использовались приборы: спектрометр DLTS; C-V-профилометр; ИК-спектрометр IR75; Nanofinder High End (LotisTII) – микрорамановский спектрометр; дифрактометр Ultima-IV с использованием медного излучения (0,154059 нм). В результате показана возможность модификации оптических, электрических и структурных свойств кристаллов и пленок германия, кремния в твердых растворах SiGe; установлены радиационно-технологические режимы (условия термообработки и параметры плазменной обработки, энергия ионов водорода) для целенаправленного формирования новых свойств изучаемых объектов. Использование разработанных научно-технологических принципов позволит при помощи ионной имплантации и обработки в водородной плазме создать новые методики управления электрофизическими характеристиками полупроводниковых приборов. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/237224 |
Регистрационный номер: | № госрегистрации 20161265 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2018 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20161265 Покотило.docx | 896,97 kB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.