Исследовать корреляцию электрофизических и оптических свойств твердых растворов кремний-германий при изменении их компонентного состава и радиационных воздействиях : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ю. М. Покотило

Abstract

Объектом исследования являются оптические и электрофизические свойства и условия формирования структурных дефектов в кристаллах германия, кремния, твердых растворах SiGe, механизмы модификации свойств кристаллов кремния и сплавов при имплантации ионов водорода и обработке в водородной плазме. Цели НИР: получение новые сведений о структурных, электрофизических и оптических свойствах изучаемых объектов, установление радиационно-технологических режимов формирования новых свойств материалов. Основные методы исследований: измерения вольт-фарадных характеристик, нестационарная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), спектроскопия комбинационного рассеяния света и ИК-поглощения, рентгеноструктурный анализ. В процессе использовались приборы: спектрометр DLTS; C-V-профилометр; ИК-спектрометр IR75; Nanofinder High End (LotisTII) – микрорамановский спектрометр; дифрактометр Ultima-IV с использованием медного излучения (0,154059 нм). В результате показана возможность модификации оптических, электрических и структурных свойств кристаллов и пленок германия, кремния в твердых растворах SiGe; установлены радиационно-технологические режимы (условия термообработки и параметры плазменной обработки, энергия ионов водорода) для целенаправленного формирования новых свойств изучаемых объектов. Использование разработанных научно-технологических принципов позволит при помощи ионной имплантации и обработки в водородной плазме создать новые методики управления электрофизическими характеристиками полупроводниковых приборов.