Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/237224
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПокотило, Ю. М.-
dc.contributor.authorСмирнова, О. Ю.-
dc.contributor.authorПетух, А. Н.-
dc.contributor.authorСтельмах, Г. Ф.-
dc.contributor.authorГиро, А. В.-
dc.contributor.authorКондратьева, Ю. А.-
dc.contributor.authorЛавицкая, Т. С.-
dc.contributor.authorВеличко, Ф. М.-
dc.contributor.authorПротасеня, А. И.-
dc.contributor.authorНикитина, А. В.-
dc.contributor.authorЩитковец, А. К.-
dc.contributor.authorЕрш, Д. С.-
dc.date.accessioned2020-01-09T08:21:02Z-
dc.date.available2020-01-09T08:21:02Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.other№ госрегистрации 20161265ru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/237224-
dc.description.abstractОбъектом исследования являются оптические и электрофизические свойства и условия формирования структурных дефектов в кристаллах германия, кремния, твердых растворах SiGe, механизмы модификации свойств кристаллов кремния и сплавов при имплантации ионов водорода и обработке в водородной плазме. Цели НИР: получение новые сведений о структурных, электрофизических и оптических свойствах изучаемых объектов, установление радиационно-технологических режимов формирования новых свойств материалов. Основные методы исследований: измерения вольт-фарадных характеристик, нестационарная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), спектроскопия комбинационного рассеяния света и ИК-поглощения, рентгеноструктурный анализ. В процессе использовались приборы: спектрометр DLTS; C-V-профилометр; ИК-спектрометр IR75; Nanofinder High End (LotisTII) – микрорамановский спектрометр; дифрактометр Ultima-IV с использованием медного излучения (0,154059 нм). В результате показана возможность модификации оптических, электрических и структурных свойств кристаллов и пленок германия, кремния в твердых растворах SiGe; установлены радиационно-технологические режимы (условия термообработки и параметры плазменной обработки, энергия ионов водорода) для целенаправленного формирования новых свойств изучаемых объектов. Использование разработанных научно-технологических принципов позволит при помощи ионной имплантации и обработки в водородной плазме создать новые методики управления электрофизическими характеристиками полупроводниковых приборов.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроениеru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленностьru
dc.titleИсследовать корреляцию электрофизических и оптических свойств твердых растворов кремний-германий при изменении их компонентного состава и радиационных воздействиях : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ю. М. Покотилоru
dc.typereportru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Располагается в коллекциях:Отчеты 2018

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Отчет 20161265 Покотило.docx896,97 kBMicrosoft Word XMLОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.