Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/237224
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Покотило, Ю. М. | - |
dc.contributor.author | Смирнова, О. Ю. | - |
dc.contributor.author | Петух, А. Н. | - |
dc.contributor.author | Стельмах, Г. Ф. | - |
dc.contributor.author | Гиро, А. В. | - |
dc.contributor.author | Кондратьева, Ю. А. | - |
dc.contributor.author | Лавицкая, Т. С. | - |
dc.contributor.author | Величко, Ф. М. | - |
dc.contributor.author | Протасеня, А. И. | - |
dc.contributor.author | Никитина, А. В. | - |
dc.contributor.author | Щитковец, А. К. | - |
dc.contributor.author | Ерш, Д. С. | - |
dc.date.accessioned | 2020-01-09T08:21:02Z | - |
dc.date.available | 2020-01-09T08:21:02Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.other | № госрегистрации 20161265 | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/237224 | - |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются оптические и электрофизические свойства и условия формирования структурных дефектов в кристаллах германия, кремния, твердых растворах SiGe, механизмы модификации свойств кристаллов кремния и сплавов при имплантации ионов водорода и обработке в водородной плазме. Цели НИР: получение новые сведений о структурных, электрофизических и оптических свойствах изучаемых объектов, установление радиационно-технологических режимов формирования новых свойств материалов. Основные методы исследований: измерения вольт-фарадных характеристик, нестационарная спектроскопия глубоких уровней (DLTS), спектроскопия комбинационного рассеяния света и ИК-поглощения, рентгеноструктурный анализ. В процессе использовались приборы: спектрометр DLTS; C-V-профилометр; ИК-спектрометр IR75; Nanofinder High End (LotisTII) – микрорамановский спектрометр; дифрактометр Ultima-IV с использованием медного излучения (0,154059 нм). В результате показана возможность модификации оптических, электрических и структурных свойств кристаллов и пленок германия, кремния в твердых растворах SiGe; установлены радиационно-технологические режимы (условия термообработки и параметры плазменной обработки, энергия ионов водорода) для целенаправленного формирования новых свойств изучаемых объектов. Использование разработанных научно-технологических принципов позволит при помощи ионной имплантации и обработки в водородной плазме создать новые методики управления электрофизическими характеристиками полупроводниковых приборов. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Химическая технология. Химическая промышленность | ru |
dc.title | Исследовать корреляцию электрофизических и оптических свойств твердых растворов кремний-германий при изменении их компонентного состава и радиационных воздействиях : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ю. М. Покотило | ru |
dc.type | report | ru |
dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2018 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20161265 Покотило.docx | 896,97 kB | Microsoft Word XML | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.