Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/235634
Title: Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления
Authors: Наливайко, О. Ю.
Турцевич, А. С.
Завадский, С. М.
Жигулин, Д. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Nov-2019
Publisher: Минск : РИВШ
Citation: Квантовая электроника : материалы XII Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–22 нояб. 2019 г. / редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.) [и др.]. – Минск : РИВШ, 2019. – С.157-158.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/235634
ISBN: 978-985-586-281-0
Appears in Collections:2019. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
157_Наливайко.pdf627,74 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.