Физико-механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия

Голосов, Д. А.; Окс, Е. М.; Бурдовицин, В. А.; Нгуен, Т. Д.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Каганович, Н. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233922

Title:	Физико-механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия
Other Titles:	Mechanical and Tribotechnical Characteristics of Titanium-Aluminum Nitride Films / Dmitriy Golosov, Efim Oks, Victor Burdovitsin, Tuyen Nguyen, Sergei Melnikov, Sergey Zavadski, Nikita Kaganovich
Authors:	Голосов, Д. А. Окс, Е. М. Бурдовицин, В. А. Нгуен, Т. Д. Мельников, С. Н. Завадский, С. М. Каганович, Н. А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2019
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 235-238.
Abstract:	Проведены исследования механических и триботехнических характеристик пленок нитрида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al мозаичной мишени в Ar/N2 смеси газов. Получены зависимости элементного состава, микротвердости, коэффициента трения и объемного износа от концентрации азота в смеси газов в процессе нанесения. При содержании азота 7.4 % получены покрытия с твердостью 1250 HK, коэффициентом трения 0.12 – 0.13 и объемным износом менее 6.3×10 -11 мм3 при нагрузке 500 мН. Анализ полученных результатов показал, что наибольшей твердостью и износостойкостью обладают покрытия с недостатком азота в пленках состава Ti5Al0.6N.
Abstract (in another language):	Mechanical and tribological characteristics of titanium-aluminum nitride films deposited by reactive magnetron sputtering of a Ti-Al mosaic target in an Ar/N2 gas mixture were studied. The dependences of the elemental composition, microhardness, friction coefficient and volume wear on the nitrogen concentration in the gas mixture during the deposition process are obtained. When the nitrogen content in the Ar/N2 gas mixture was 7.4 %, coatings with a hardness of 1250 HK, a friction coefficient of 0.12 – 0.13 and a volume wear of less than 6.3×10 –11 mm3 at a load of 500 mN were obtained. An analysis of the results showed that coatings with a nitrogen deficiency in films of composition Ti5Al0.6N have the greatest microhardness and wear resistance.
Description:	Секция 3. Модификация свойств материалов = Section 3. Modification of Material Properties
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/233922
ISSN:	2663-9939
Sponsorship:	Исследования выполнены при финансовой поддержке БРФФИ в рамках научного проекта № T18P-092 и РФФИ в рамках научного проекта №18-58-00004 Бел_а.
Appears in Collections:	2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
235-238.pdf		443,55 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar