Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233891
Title: Электрические потери в имплантированных ионами ксенона структурах Al/SiO2 /n-Si
Other Titles: Electrical Losses of Al/SiO2 /n-Si Structures Implanted with Xenon Ions / N.I. Gorbachuk, N.A. Poklonski, S.V. Shpakovski, A. Wieck
Authors: Горбачук, Н. И.
Поклонский, Н. А.
Шпаковский, С. В.
Wieck, A.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2019
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 139-142.
Abstract: Исследовался импеданс МДП-структур Al/SiO2/n-Si, имплантированных ионами ксенона с энергией 166 МэВ. Флюенс ионов варьировался от 10 8 до 10 12 см−2. Измерения тангенса угла электрических потерь выполнялись в диапазоне частот от 20 до 3⋅10 7 Гц. Установлено, что при флюенсах имплантации (облучения) ≥10 9 см−2 радиационные дефекты вносят в интервале частот 2⋅10 3 – 10 5 Гц определяющий вклад в электрические потери МДП-структур, находящихся в режиме инверсии типа электрической проводимости в пограничном слое n-Si. Показано, что потери обусловлены перезарядкой введенных имплантацией дефектов.
Abstract (in another language): Impedance of MIS structures Al/SiO2/n-Si implanted with xenon ions with energy of 166 MeV was studied. The ion fluence was ranged from 10 8 to 10 12 cm−2. Measurements of electric loss tangent were performed in the frequency range from 20 to 3⋅10 7 Hz. It has been established that at implantation (irradiation) fluences ≥10 9 cm−2 the irradiation-induced defects in the frequency range 2⋅10 3 – 10 5 Hz make a primary contribution to the electric losses of the MIS structures in the mode of electrical conductivity type inversion in the n-Si boundary layer. It is shown that the losses are caused by the recharging of defects introduced by implantation.
Description: Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле = Section 2. Radiation Effects in Solids
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/233891
ISSN: 2663-9939
Sponsorship: Работа выполнена при финансовой поддержке ГПНИ «Фотоника, опто- и микроэлектроника» (подпрограмма «Микро- и наноэлектроника») и «Физматтех».
Appears in Collections:2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
139-142.pdf552,41 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.