Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233861| Title: | Пучково-плазменное осаждение углеродосодержащих покрытий на внутреннюю поверхность диэлектрической полости |
| Other Titles: | Beam-Plasma Deposition of Carbon-Containing Coatings on the Internal Surface of Dielectric Cavity / Denis Zolotukhin, Andrey Tyunkov, Yuriy Yushkov |
| Authors: | Золотухин, Д. Б. Тюньков, А. В. Юшков, Ю. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 536-538. |
| Abstract: | Описан эксперимент и приведены экспериментальные результаты по осаждению защитных углеродсодержащих покрытий на внутреннюю поверхность диэлектрической полости в результате возбуждения внутри нее пучково-плазменного разряда, вызванного инжекцией непрерывного электронного пучка энергией 3 кэВ и током 50 мА в среднем вакууме (10 Па). Рабочим газом служила смесь аргона и ацетилена, электронный пучок формировался непрерывным форвакуумным плазменным источником электронов на основе тлеющего разрядом с полым катодом. Внутри диэлектрической полости отсутствовали какие-либо электроды либо приспособления для нейтрализации инжектируемого отрицательного заряда. Углеродсодержащие покрытия, осажденные на контрольные кремниевые пластинки, размещенные на дне и внутренних стенках полости, исследовались с применением оптического микроскопа и рамановского спектрометра, а масс-зарядовый состав ионов пучковой плазмы – квадрупольным масс-спектрометром RGA-100. |
| Abstract (in another language): | The article describes an experiment and presents experimental results on deposition of protective carbon-containing coatings on an internal surface of dielectric cavity as a result of ignition inside this cavity the beam-plasma discharge caused by the injection of continuous electron beam with energy of 3 keV and current of 50 mA in medium vacuum (10 Pa). The working gas was the mixture of argon and acetylene, electron beam was formed by a continuous fore-vacuum plasma-cathode electron source based on a glow discharge with hollow cathode. Inside the mentioned dielectric cavity, no electrodes or other devices were placed in order to neutralize the injecting negative charge. The coatings adhesion to the cavity walls was improved by the intensive bombarding by the flow of ions, generated within the beam-produced plasma and accelerated towards the bottom and the sidewalls of the cavity by not only a dc sheath but also by a electromagnetic field induced as a result of the beam-plasma discharge. The carbon-containing coatings, deposited on control silicon plates placed on the bottom and on the internal sidewalls of the cavity, were examined using optical microscope and raman spectroscopy, the mass-to-charge composition of ions in beam plasma was studied by a quadruple mass spectrometer RGA-100. |
| Description: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233861 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Sponsorship: | Работа поддержана Российским Фондом Фундаментальных Исследований (РФФИ), грантом № 18-38-00009 мол_а. |
| Appears in Collections: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 536-538.pdf | 387,37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.