Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233860| Title: | О возможности ионного травления, инициированного электронным пучком |
| Other Titles: | On the Possibility of Ion Etching Initiated by Electron Beam / Denis Zolotukhin, Andrey Tyunkov, Yuriy Yushkov |
| Authors: | Золотухин, Д. Б. Тюньков, А. В. Юшков, Ю. Г. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 533-535. |
| Abstract: | Представлены результаты, показывающие возможность осуществления процесса инициируемого и контролируемого электронным пучком ионного травления поверхности алюмооксидной керамики, расположенной на дне диэлектрической полости, в области давлений среднего вакуума. Исследования поверхности образца бесконтактным профилометром показали значительное снижение ее шероховатости в области взаимодействия с пучком. Следов потемнения либо оплавления поверхности керамики в области взаимодействия с пучком не зафиксировано, что свидетельствует об уносе вещества под действием ионной бомбардировки без существенного теплового воздействия. |
| Abstract (in another language): | The presented results demonstrate the possibility of carrying out the process of electron-beam initiated and controlled ion etching of the surface of alumina ceramics, located at the bottom of the dielectric cavity, in medium vacuum. Studies of the surface of the sample with a non-contact profilometer showed a significant decrease in its roughness in the area of interaction with the beam. No traces of darkening or melting of the ceramic surface in the area of interaction with the beam were recorded, which indicates the removal of the substance under the action of ion bombardment without any significant thermal effects. |
| Description: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233860 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Sponsorship: | Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ и Администрации Томской области в рамках научного проекта № 19-48-703002 р_мол_а. |
| Appears in Collections: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 533-535.pdf | 387,33 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.