Режимы обработки и нанесения нанопокрытий в лазерно-плазменном источнике

Гончаров, В. К.; Исмаилов, Д. Р.; Пехота, А. А.; Пузырев, М. В.; Ступакевич, В. Ю.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/233853

Title:	Режимы обработки и нанесения нанопокрытий в лазерно-плазменном источнике
Other Titles:	The Regimes of Processing and Deposition Nanofilmms in the Laser-Plasma Source / V.K. Goncharov, D.R. Ismailov, A.A. Pehota, М.V. Puzyrev, V.U. Stupakevich
Authors:	Гончаров, В. К. Исмаилов, Д. Р. Пехота, А. А. Пузырев, М. В. Ступакевич, В. Ю.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2019
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 511-513.
Abstract:	Из лазерной плазмы получены ионные потоки. Регулируя плотность ионного потока изменением плотности мощности лазерного излучения и энергию ионов изменением электрического поля, можно получить при различных режимах взаимодействия ионного потока с подложкой травление, создание псевдодиффузионного слоя и напыления покрытий с различной скоростью. Все эти процессы можно проводить последовательно без разгерметизации вакуумной камеры. Такие режимы позволят получить стерильные высокоадгезионные покрытия.
Abstract (in another language):	Ionic fluxes have been produced from laser plasma. We can control ionic fluxes density using a different of the laser radiation intensity and ions energy using electric field. It allows to producing using at various regimes of the interaction of an ionic flux with a substrate: etching, creation of a pseudo-diffusive layer and deposition of films with various speed. All these processes can be carried out consistently without depressurization of the vacuum chamber. Such regimes will allow producing sterile high-adhesive coverings.
Description:	Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/233853
ISSN:	2663-9939
Appears in Collections:	2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
511-513.pdf		312 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar