Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233853| Заглавие документа: | Режимы обработки и нанесения нанопокрытий в лазерно-плазменном источнике |
| Другое заглавие: | The Regimes of Processing and Deposition Nanofilmms in the Laser-Plasma Source / V.K. Goncharov, D.R. Ismailov, A.A. Pehota, М.V. Puzyrev, V.U. Stupakevich |
| Авторы: | Гончаров, В. К. Исмаилов, Д. Р. Пехота, А. А. Пузырев, М. В. Ступакевич, В. Ю. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 511-513. |
| Аннотация: | Из лазерной плазмы получены ионные потоки. Регулируя плотность ионного потока изменением плотности мощности лазерного излучения и энергию ионов изменением электрического поля, можно получить при различных режимах взаимодействия ионного потока с подложкой травление, создание псевдодиффузионного слоя и напыления покрытий с различной скоростью. Все эти процессы можно проводить последовательно без разгерметизации вакуумной камеры. Такие режимы позволят получить стерильные высокоадгезионные покрытия. |
| Аннотация (на другом языке): | Ionic fluxes have been produced from laser plasma. We can control ionic fluxes density using a different of the laser radiation intensity and ions energy using electric field. It allows to producing using at various regimes of the interaction of an ionic flux with a substrate: etching, creation of a pseudo-diffusive layer and deposition of films with various speed. All these processes can be carried out consistently without depressurization of the vacuum chamber. Such regimes will allow producing sterile high-adhesive coverings. |
| Доп. сведения: | Секция 6. Современное оборудование и технологии = Section 6. Advances in Equipment and Technologies |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233853 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Располагается в коллекциях: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 511-513.pdf | 312 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.