Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233847| Заглавие документа: | Влияние праметров осаждения на элементный состав и структурно-фазовое состояние многослойных (TiAlCrY/Zr)N покрытий |
| Другое заглавие: | Effect of the Deposition Parameters on Elemental Composition and Structural-Phase State of Multilayer (TiAlCrY/Zr)N Coatings / Kateryna Smyrnova, Alexander Pogrebnjak, Igor Shelest, Valerii Loboda, Vyacheslav Stolbovoy |
| Авторы: | Смирнова, К. В. Погребняк, А. Д. Шелест, И. В. Лобода, В. Б. Столбовой, В. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 492-494. |
| Аннотация: | Нанокристаллические многослойные (TiAlCrY/Zr)N покрытия были получены методом вакуумно-дугового осаждения. В работе исследовалось влияние количества бислоев и изменения их толщины на фазовый и элементный состав. Потенциал смещения на подложке для всех серий образцов был -200 В, а парциальное давление азота – 0.4 Па. С уменьшением толщины бислоев наблюдалась тенденция к увеличению концентрации азота и уменьшению содержания остальных элементов. Все серии покрытий состояли из двух фаз с гранецентрированной кубической (ГЦК) структурой типа NaCl – ZrN и твердого раствора (Ti,Al,Cr)N. Однако при уменьшении толщины бислоев заметно повышение интенсивности пиков плоскостей (111) и снижение интенсивности рефлексов (200). Также увеличение количества бислоев привело к увеличению кристаллитов (Ti,Al,Cr)N фазы и незначительному уменьшению их размеров для ZrN. |
| Аннотация (на другом языке): | Nanocrystalline multilayer (TiAlCrY/Zr)N coatings were deposited by the vacuum arc evaporation method. The effect of the number of bilayers (their thickness) on the phase and elemental composition of three series of samples was studied. The substrate bias potential during the deposition process was -200 V, and the partial pressure of nitrogen — 0.4 Pa. With a decrease in the thickness of bilayers, a tendency towards an increase in the concentration of nitrogen and a decrease in the content of the remaining elements was observed. All series of coatings consisted of two phases with a face-centered cubic (fcc) structure of the NaCl-type – zirconium nitride and solid solution (Ti,Al,Cr)N. However, with a decrease in the thickness of the bilayers, the intensity of peaks from the [111] planes increased and the intensity of [200] reflections noticeably decreased. An increase in the number of bilayers led to an increase in crystallites of (Ti,Al,Cr)N phase from 8.4 to 9.8 nm and a slight decrease in their size in zirconium nitride structure from 8.0 to 7.6 nm. The same dependency was observed with respect to the lattice parameters of these phases. |
| Доп. сведения: | Секция 5. Влияние излучений на структуру и свойства покрытий = Section 5. Radiation Influence on Coatings Structure and Properties |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233847 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Финансовая поддержка: | Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки Украины в рамках государственных бюджетных тем № 0118U003579 и № 0119U100787. |
| Располагается в коллекциях: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 492-494.pdf | 359,59 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.