Просмотр "2019, №2" Авторы Понарядов, В. В.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |