Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/228082| Заглавие документа: | Формирование микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллического кремния при травлении водными растворами KOH |
| Авторы: | Усенко, А. Е. Юхневич, А. В. |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Свиридовские чтения : сб. ст. Вып. 4. — Минск : БГУ, 2008. — С. 113-118 |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/228082 |
| ISBN: | 978-985-518-066-2 |
| Располагается в коллекциях: | Выпуск 4 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 113-118.pdf | 159,73 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.