Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/228082
Заглавие документа: | Формирование микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллического кремния при травлении водными растворами KOH |
Авторы: | Усенко, А. Е. Юхневич, А. В. |
Дата публикации: | 2008 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание источника: | Свиридовские чтения : сб. ст. Вып. 4. — Минск : БГУ, 2008. — С. 113-118 |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/228082 |
ISBN: | 978-985-518-066-2 |
Располагается в коллекциях: | Выпуск 4 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
113-118.pdf | 159,73 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.