Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226489| Заглавие документа: | Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработки |
| Авторы: | Пилипенко, В. А. Пономарь, В. Н. Горушко, В. А. Тарасик, М. И. Янченко, А. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1998 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1998. – № 3. – С. 53-58. |
| Аннотация: | The morphological changes of aluminum films after rapid thermal processing were studied. It is shown that such processing results in the equal-grained structure of these films. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226489 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1998, №3 (сентябрь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.