Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226489| Title: | Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработки |
| Authors: | Пилипенко, В. А. Пономарь, В. Н. Горушко, В. А. Тарасик, М. И. Янченко, А. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 1998 |
| Publisher: | Минск : Універсітэцкае |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1998. – № 3. – С. 53-58. |
| Abstract: | The morphological changes of aluminum films after rapid thermal processing were studied. It is shown that such processing results in the equal-grained structure of these films. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226489 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 1998, №3 (сентябрь) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.