Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/226332| Заглавие документа: | Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработки |
| Авторы: | Пономарь, В. Н. Пилипенко, В. А. Горушко, В. А. Тарасик, М. И. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1998 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1998. – № 2. – С. 26-29. |
| Аннотация: | Fusing processes in boron- and phosphor-silicate glasses using rapid thermal processing were investigated. It is shown that this method leads to improvement of electrical characteristics of the elements in integrated circuits. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/226332 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1998, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.