Полупроводниковые плёнки полученные методом импульсного ионного осаждения

Ремнев, Г. Е.; Салтымаков, М. С.; Ивонин, И. В.; Найден, Е. П.; Юрченко, В. И.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223869

Title:	Полупроводниковые плёнки полученные методом импульсного ионного осаждения
Authors:	Ремнев, Г. Е. Салтымаков, М. С. Ивонин, И. В. Найден, Е. П. Юрченко, В. И.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2007
Publisher:	Минск : Изд. центр БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С.398-400.
Abstract:	в докладе приведены результаты исследований полупроводниковых плёнок сложного состава 1пР. Плёнки осаждались из абляционной плазмы, сгенерированной из массивной мишени 1пР при воздействии на неё серии импульсного мощного ионного пучка наносекундной длительности. Сохранение стехиометрического состава осаждённых плёнок относительно исходной мишени проверялось методом ОЖЕ спектроскопии. Морфология поверхности плёнок определялась методами оптической и атомно-силовой микроскопии. Фазовый состав пленок исследовался малоугловым рентгеновским рассеянием.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/223869
ISBN:	978-985-476-530-3
Appears in Collections:	2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
398-400.pdf		608,49 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar