Полупроводниковые плёнки полученные методом импульсного ионного осаждения

Ремнев, Г. Е.; Салтымаков, М. С.; Ивонин, И. В.; Найден, Е. П.; Юрченко, В. И.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223869

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ремнев, Г. Е.	-
dc.contributor.author	Салтымаков, М. С.	-
dc.contributor.author	Ивонин, И. В.	-
dc.contributor.author	Найден, Е. П.	-
dc.contributor.author	Юрченко, В. И.	-
dc.date.accessioned	2019-07-15T08:34:44Z	-
dc.date.available	2019-07-15T08:34:44Z	-
dc.date.issued	2007	-
dc.identifier.citation	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С.398-400.	ru
dc.identifier.isbn	978-985-476-530-3	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/223869	-
dc.description.abstract	в докладе приведены результаты исследований полупроводниковых плёнок сложного состава 1пР. Плёнки осаждались из абляционной плазмы, сгенерированной из массивной мишени 1пР при воздействии на неё серии импульсного мощного ионного пучка наносекундной длительности. Сохранение стехиометрического состава осаждённых плёнок относительно исходной мишени проверялось методом ОЖЕ спектроскопии. Морфология поверхности плёнок определялась методами оптической и атомно-силовой микроскопии. Фазовый состав пленок исследовался малоугловым рентгеновским рассеянием.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Минск : Изд. центр БГУ	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Полупроводниковые плёнки полученные методом импульсного ионного осаждения	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
398-400.pdf		608,49 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar