Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223869| Заглавие документа: | Полупроводниковые плёнки полученные методом импульсного ионного осаждения |
| Авторы: | Ремнев, Г. Е. Салтымаков, М. С. Ивонин, И. В. Найден, Е. П. Юрченко, В. И. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С.398-400. |
| Аннотация: | в докладе приведены результаты исследований полупроводниковых плёнок сложного состава 1пР. Плёнки осаждались из абляционной плазмы, сгенерированной из массивной мишени 1пР при воздействии на неё серии импульсного мощного ионного пучка наносекундной длительности. Сохранение стехиометрического состава осаждённых плёнок относительно исходной мишени проверялось методом ОЖЕ спектроскопии. Морфология поверхности плёнок определялась методами оптической и атомно-силовой микроскопии. Фазовый состав пленок исследовался малоугловым рентгеновским рассеянием. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223869 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 398-400.pdf | 608,49 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.