Изменение фазового состава и твердости при вакуумном отжиге нитридов металлов Zr, Mo, Ti И Cr, осажденных на твердый сплав Т15К6

Abstract

Исследовано изменение фазового состава и твердости покрытий моно и двойных нитридов металлов Zr, Mo, Ti, Cr при вакуумном изохронном отжиге в интервале температур 670-1270 К. Покрытия формировались на сплаве Т15К6 с помощью конденсации и ионной бомбардировкой (КИБ) одного или одновременно двух металлов в атмосфере азота. Фазовый состав покрытий, формируемых с использованием одного металла, представлял собой мононитриды ZrN, TiN или двухфазные системы M02N + Мо, СггМ + Сг. Применение двух металлов (Zr и Мо) и (Ti и Сг) при осаждении формирует твердые растворы (Zr,Mo)N и (Ti,Cr)N При вакуумном отжиге в интервале температур 670-1270 К происходит уменьшение в 2-3 раза твердости покрытий на основе мононитридов CrjN, M02N, TiN, что коррелирует с уменьшением ширины дифракционного пика (111) соответствующих нитридов. В случае тройной системы (Ti,Cr)N твердость покрытия не меняется до температуры отжига 1170 К. Показано, что при отжиге процесс распада твердого раствора (Ti,Cr)N начинается с температуры отжига 1170 К. При температуре 1270 К твердый раствор (Ti,Cr)N распадается с образованием нитридов TiN и CrjN. Максимальной термостабильностью обладает покрытие (Zr,Mo)N, фазовый состав и твердость которого не меняется при отжиге в интервале температур 670-1170 К.