Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223825| Title: | Импульсная фотонная обработка титана на поверхности кремния под слоем нитрида титана |
| Authors: | Иевлев, В. М. Канныкин, С. В. Колос, В. В. Кущев, С. Б. Маркевич, М. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 307-308. |
| Abstract: | Приведены результаты исследований методами Оже -спектрометрии и ПЭМ элементного и фазового состава, структуры пленок силицидов гетеросистемы TiN/Ti/SiOz/Si, синтезированных методом импульсной фотонной обработки. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223825 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 307-308.pdf | 425,5 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.