Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223825
Title: Импульсная фотонная обработка титана на поверхности кремния под слоем нитрида титана
Authors: Иевлев, В. М.
Канныкин, С. В.
Колос, В. В.
Кущев, С. Б.
Маркевич, М. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 307-308.
Abstract: Приведены результаты исследований методами Оже -спектрометрии и ПЭМ элементного и фазового состава, структуры пленок силицидов гетеросистемы TiN/Ti/SiOz/Si, синтезированных методом импульсной фотонной обработки.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223825
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
307-308.pdf425,5 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.