Оже-спектроскопия алмазоподобных углеродных пленок, полученных лазерно-плазменным осаждением

Abstract

С помощью Оже-элеетронной спе1ароскопии проведен анализ примесного состава и структуры алмазоподобных углеродных пленок, полученных методом импульсного лазерного осаждения (Л = 1064 нм, т = 20 не) в вакууме (р = 2,6 10^-3 Па) при различной плотности мощности лазерного излучения. Показано, что с ростом плотности мощности происходит изменение структуры осаждаемых покрытий от графитоподобной к алмазоподобной. Для алмазоподобной пленки на основании спектров пропускания в УФ- и видимом диапазоне произведена оценка ширины запрещенной зоны по методике Тауца.