Морфология поверхности и трибологические свойства никель-углеродных композитных пленок, сформированных методом микроволнового плазмо-усиленного химического вакуумного осаждения из аргон-ацетиленовой газовой смеси

Abstract

Исследовано изменение морфологии поверхности и трибологических свойств гидрогенизированных аморфных никель-углеродных композитных (Ni/a-C:H) пленок, полученных методом микроволнового плазмо-усиленного химического вакуумного осаждения, в зависимости от содержания С2Н2 в смеси газов. Установлено, что концентрации углерода в пленке увеличивается пропорционально от 0 до 95 % с ростом содержания С2Н2 в реактивной газовой смеси от 0 до 100 %. Метод атомно-силовой микроскопии позволил выявить на поверхности Ni/a-C:H композитов никельсодержащие образования. Обнаружено, что концентрация данных образований и их размер на поверхности плёнок зависят от содержания С2Н2 в смеси реактивных газов. Изменение трибологических свойств происходит также в зависимости от содержания С2Н2 в газовой смеси, при этом наименьшим значением начального коэффициента трения (~0,04) и наибольшей износостойкостью обладают плёнки, сформированные в смеси газов с содержанием С2Н2 60 %.