Характеристики тонкопленочных фуллереновых покрытий, осаждаемых при различных условиях с помощью мощных ионных пучков

Abstract

Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены С60 и С70 углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на фафитовые мишени различной плотности. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к монокристаллической кремниевой подложке, коэффициент трения и шероховатость поверхности покрытий при различных условиях их осаждения. На указанные характеристики покрытий влияют как плотность энергии падающего на мишень ионного пучка, определяющая плотность и температуру абляционной плазмы, так и темп осаждения покрытия, т е толщина пленки, осаждаемой за один импульс ионного тока. Для покрытий, осажденных при большой плотности мощности ионного пучка, наблюдаются повышенные значения нанотвердости и модуля Юнга. Величина адгезии мала при большом темпе осаждения покрытия. Коэффициент трения, как правило, тем меньше, чем больше шероховатость.