ЭПР-исследование алмазоподобных углеродных пленок, формируемых при воздействии лазерного излучения на различные графитовые мишени

Abstract

Алмазоподобные углеродные пленки на кремнии и стекле получали лазерно-плазменным методом. В экспериментах использовался импульсный неодимовый лазер (длина волны 1,06 мкм) для облучения нескольких типов углеродной мишени. Метод электронного парамагнитного резонанса применялся для изучения структуры данных покрытий. Для всех образцов выявлен сигнал со значением g - фактора, равным 2,0023. Показано, что увеличение температуры подложки приводит к перегруппировке межзеренных ростовых дефектов, что способствует формированию менее дефекных пленок. Выявлена зависимость парамагнитных свойств формируемых алмазоподобных пленок от совершенства структуры источника графита.