Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223723
Title: Нанорельеф поверхности германия и кремния при облучении низкоэнергетичными ионами
Authors: Черныш, В. С.
Патракеев, А. С.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 236-238.
Abstract: Экспериментально изучен рельеф поверхности монокристаллов кремния и германия, формирующийся под действием облучения ионами Аr+ и Ne+ с энергией 10 кэВ. С помощью атомно-силовой микроскопии обнаружено формирование рельефа с характерными размерами нанометрового диапазона. Установлено влияние степени легированности кремния на среднюю высоту образующегося нанорельефа Найдено также, что средняя высота определяется параметрами ионного облучения.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223723
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
236-238.pdf643,54 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.