Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223723| Title: | Нанорельеф поверхности германия и кремния при облучении низкоэнергетичными ионами |
| Authors: | Черныш, В. С. Патракеев, А. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 236-238. |
| Abstract: | Экспериментально изучен рельеф поверхности монокристаллов кремния и германия, формирующийся под действием облучения ионами Аr+ и Ne+ с энергией 10 кэВ. С помощью атомно-силовой микроскопии обнаружено формирование рельефа с характерными размерами нанометрового диапазона. Установлено влияние степени легированности кремния на среднюю высоту образующегося нанорельефа Найдено также, что средняя высота определяется параметрами ионного облучения. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223723 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 236-238.pdf | 643,54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.