Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223723Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Черныш, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Патракеев, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-12T07:46:28Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-12T07:46:28Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 236-238. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-476-530-3 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223723 | - |
| dc.description.abstract | Экспериментально изучен рельеф поверхности монокристаллов кремния и германия, формирующийся под действием облучения ионами Аr+ и Ne+ с энергией 10 кэВ. С помощью атомно-силовой микроскопии обнаружено формирование рельефа с характерными размерами нанометрового диапазона. Установлено влияние степени легированности кремния на среднюю высоту образующегося нанорельефа Найдено также, что средняя высота определяется параметрами ионного облучения. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Нанорельеф поверхности германия и кремния при облучении низкоэнергетичными ионами | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 236-238.pdf | 643,54 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.