Влияние обработки электронным пучком на характеристики поверхности двухслойных TiN/Al2O3 покрытий

Abstract

В работе представлены результаты исследований двухслойных TiN/Al2O3 покрытий после обработки электронным пучком в разных режимах. С помощью растровой электронной микроскопии изучена морфология поверхности образцов и определены количественные параметры шероховатости поверхности Качественно и количественно показано, что с увеличением плотности мощности электронного пучка происходит сглаживание поверхностного рельефа. Проведен микроанализ поверхности с помощью энергодисперсионного микроанализатора EDS и определен элементный состав поверхностного слоя. На основании проведенных исследований установлены режимы, при которых происходит расплавление покрытия и перемешивание покрытия с основой.