Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223577| Title: | Влияние радиационных дефектов на диффузию имплантированного мышьяка в кремнии |
| Authors: | Хосе Араика Ривера, Оскар Джадан, М. Челядинский, А. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 162-163. |
| Abstract: | Исследована диффузия имплантированного As в слоях кремния с различным содержанием радиационных дефектов, концентрация которых варьировалась дополнительным внедрением ионов Si. Наблюдаемое уменьшение коэффициента диффузии As связывается с захватом примеси на избыточные вакансии как на ловушки. При концентрациях дефектов намного выше концентрации примеси коэффициент ее диффузии увеличивается, но остается существенно ниже собственного значения. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223577 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 162-163.pdf | 443,48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.