Лазерно-плазменное осаждение диэлектрических алмазоподобных углеродных покрытий

Abstract

Известно, что безводородные алмазоподобные углеродные пленки (АУП) с вы­соким (более 80 %) содержанием sp3-связанноrо углерода обладают близкими к ал­мазу физическими характеристиками, среди которых можно отметить высокое удельное сопротивление, высокую механическую, химическую и радиационную стойкость, высокое напряжение пробоя. Перечисленные свойства делают АУП одним из наиболее перспективных диэлектрических материалов современной микро­электроники и стимулируют исследования в области совершенствования технологий получения таких покрытий. Одним из наиболее перспективных методов получения алмазоподобных пленок является метод лазерно-плазменноrо осаждения. На­стоящая работа посвящена исследованию влияния условий осаждения на электриче­ские характеристики углеродных пленок, получаемых данным методом.