Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223464
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛоманов, А. Н.-
dc.contributor.authorСеменов, Э. И.-
dc.date.accessioned2019-07-11T08:07:55Z-
dc.date.available2019-07-11T08:07:55Z-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 128-130.ru
dc.identifier.isbn978-985-476-530-3-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/223464-
dc.description.abstractВ настоящее время тонкопленочные покрытия используются практически во всех отраслях промышленности. К качеству этих покрытий предъявляются все более жесткие требования. Из-за этого актуальными являются задачи сознания и совершенствования методов контроля получения тонкопленочных покрытий. В данной статье рассмотрены процессы, происходящие при магнетронном распылении материала в вакууме. При прохождении потока распыляемого материала через облако плазмы магнетронного разряда часть его подвергается возбуждению, вследствие чего образуются фотоны, характерные данному распыляемому материалу. Количество образуемых фотонов зависит от скорости распыления мишени. Следовательно, если анализировать интенсивность отдельных спектральных линий плазмы, то можно определить скорость распыления мишени. Предложена математическая модель, характеризующая зависимости между интенсивностью отдельных спектральных линий плазмы, скоростью распыления мишени и геометрическими параметрами магнетронной распылительной системы.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Изд. центр БГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleЗависимость между скоростью распыления материала и интенсивностью линий спектра плазмы при магнетронном распыленииru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
128-130.pdf616,76 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.