Структура и фазовый состав системы «никель-кремний», подверженной воздействию компрессионных плазменных потоков

Abstract

Исследовано влияние воздействия компрессионных плазменных потоков на элементный, фазовый состав, а также микроструктуру системы «никелевое покрытие-кремниевая подложка». Покрытие толщиной 4 мкм наносилось на монокристаллические пластины кремния (ориентации (100) и (111)). Плотность энергии, передаваемой плазменным потоком, составляла 8-15 Дж/см^2, а продолжительность воздействия ~100 мкс. Показано, что обработка компрессионной плазмы приводит к перераспределению компонент покрытия и подложки, образованию силицидов никеля и формированию дендритной структуры.